제품소개
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SP-7200GT
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◆ Summary
Spin Coater는 고속으로 회전하는 chuck 위에 반도체 웨이퍼, Thin Glass, PCB, Thin Film 등의 대상물을 회전시키고
그 위에 Pigment, chemical 등을 박막의 Micro 단위로 코팅할 때 사용되는 장비로 LAB Scale로 사용하기 적당한
Model입니다.
◆ Specification
Model |
SP-7200GT |
Chuck Rotation Speed |
300 ~8000rpm (10,000, 16,000 Option) |
RPM Accuracy |
±1%/setting value |
RPM Monitoring |
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Time Setting |
1~999sec(mm:ss setting 가능, 99:59) |
Hold Time |
1~999sec |
Control |
Digital Program 방식 |
Step |
Multi Step(10 step, 20 recipe) |
Vacuum Chuck |
12~150mm(재질:테프론) |
Bowl Size |
250mmdia |
Bowl Temp Control |
RT~60℃ Digital Control |
Bowl Material |
Stainless Steel |
Temperature Accuracy |
±1℃ |
Display |
LCD |
System Controller |
Microprocessor |
기타 |
Slide type 안전 cover(작업성 향상 및 내부 보온 겸용) |