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Spin Coater 요약정보 및 구매

SP-7200GT


 

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상품 상세설명

 ◆ Summary

 

  Spin Coater는 고속으로 회전하는 chuck 위에 반도체 웨이퍼, Thin Glass, PCB, Thin Film 등의 대상물을 회전시키고

  그 위에  Pigment, chemical  등을 박막의 Micro 단위로 코팅할 때 사용되는 장비로 LAB Scale로 사용하기 적당한

  Model입니다.

 

 ◆ Specification

​   

 Model

 SP-7200GT

Chuck Rotation Speed

300 ~8000rpm (10,000, 16,000 Option)

RPM Accuracy

 ±1%/setting value

RPM Monitoring

 

Time Setting

 1~999sec(mm:ss setting 가능, 99:59)

Hold Time

 1~999sec

 Control

 Digital Program 방식

 Step

 Multi Step(10 step, 20 recipe)

 Vacuum Chuck

 12~150mm(재질:테프론)

 Bowl Size

 250mmdia

 Bowl Temp Control

 RT~60℃ Digital Control

 Bowl Material

 Stainless Steel

 Temperature Accuracy

 ±1℃

 Display

 LCD

 System Controller

 Microprocessor

 기타

 Slide type 안전 cover(작업성 향상 및 내부 보온 겸용)

 

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